Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование: сборник статей

Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование: сборник статей

Библиографические подробности
Автор-организация:	Академия наук Молдавской ССР (АН МССР) Институт прикладной физики
Другие авторы:	Пышкин С. Л. Сергей Львович (редактор)
Язык:	русский
Опубликовано:	Кишинев, Штиинца, 1988
Предметы:	Пленки тонкие, полупроводниковые > Получение лазерные методы плазма лазерная исследование микроэлектронные приборы развитие быстропротекающие процессы
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=264204

Схожие документы

Магнетронные распылительные системы
по: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1982)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение: монография
Опубликовано: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
по: Берри Р.
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1972)

Проблемы субмикронной технологии
Опубликовано: (Москва, Наука, 1993)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
по: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1972)

Лазерные технологии и оборудование: учебное пособие
по: Лосев В. Ф. Валерий Федорович
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Физика и технология полупроводниковых пленок
по: Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
Опубликовано: (Львов, Вища школа, 1988)

Технология толстых и тонких пленок: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Мир, 1972)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
по: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Опубликовано: (Москва, Металлургия, 1980)

Лазерная обработка пленочных элементов
по: Вейко В. П. Вадим Павлович
Опубликовано: (Ленинград, Машиностроение, 1986)

Лазерные приборы вибрационного контроля и точного позиционирования
по: Застрогин Ю. Ф. Юрий Федорович
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 1995)

Лазерные технологии и оборудование: учебное пособие
по: Лосев В. Ф. Валерий Федорович
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Финляндская революция: сборник статей
Опубликовано: (Москва, Государственное издательсво, 1920)

Лазерные методы исследования плазмы
по: Зайдель А. Н. Александр Натанович
Опубликовано: (Ленинград, Наука, 1977)

Лазерные материалы: Избранные труды
по: Осико В. В. Вячеслав Васильевич
Опубликовано: (Москва, Наука, 2002)

Лазерные системы
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1980)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
по: Ли Цзень Фень
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2006)

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1988)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
по: Ли Цзень Фень
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2006)

Физические основы микротехнологии: пер. с англ.
по: Броудай И. Ивор
Опубликовано: (Москва, Мир, 1985)

Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме; Приборы и техника эксперимента; № 6
Опубликовано: (2004)

Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1983)

Лазерный монитор в задачах диагностики быстропротекающих процессов; Лазеры на парах металлов (ЛПМ - 2012)
Опубликовано: (2012)

Ч. 1; Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок
Опубликовано: (1977)

Ч. 2; Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок
Опубликовано: (1977)

Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1972)

Кинетика кристаллизации и перекристализации полупроводниковых плёнок
по: Александров Л. Н. Леонид Наумович
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1985)

Лазеры в технологии
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1975)

Методы и средства прецизионной спектрометрии: сбоник научных трудов
Опубликовано: (Москва, ВНИИФТРИ, 1987)

Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
Опубликовано: (Киев, Наукова думка, 1982)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубликовано: (Томск, 1998)

Тонкие пленки, их изготовление и измерение: пер. с нем.
по: Метфессель С.
Опубликовано: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)

Физика микроэлектронных приборов: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, [Б. и.], 1982)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
по: Ли Цзень Фень
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2006)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 1998)

Современные интегральные схемы: учебное пособие
по: Сафинов Ш. С. Шамиль Саидович
Опубликовано: (Уфа, Изд-во УАИ, 1980)

Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий
по: Белевский В. П. Владимир Петрович
Опубликовано: (Киев, о-во "Знание" УССР, 1982)

Внутрирезонаторная лазерная спектроскопия: основы метода и применения
по: Лукьяненко С. Ф. Сергей Фаддеевич
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1985)

Лазерные системы в медицине: учебное пособие для вузов
по: Евтушенко Г. С. Геннадий Сергеевич
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2003)

Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур
по: Раков А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (Москва, Советское радио, 1975)