|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
264204 |
| 005 |
20231101233818.0 |
| 010 |
|
|
|a 5376004872
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 88-70817
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\287195
|
| 090 |
|
|
|a 264204
|
| 100 |
|
|
|a 20140617d1988 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a MD
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование
|e сборник статей
|f Академия наук Молдавской ССР (АН МССР), Институт прикладной физики ; под ред. С. Л. Пышкина
|
| 210 |
|
|
|a Кишинев
|c Штиинца
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 99 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки тонкие, полупроводниковые
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49231
|9 68032
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма лазерная
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a развитие
|
| 610 |
1 |
|
|a быстропротекающие процессы
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592-416
|z rus
|
| 702 |
|
1 |
|a Пышкин
|b С. Л.
|g Сергей Львович
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Молдавской ССР (АН МССР)
|b Институт прикладной физики
|c (Кишинев)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11347
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19960705
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140617
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150213
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
