MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 264202
005 20231101233818.0
020 |a RU  |b 88-73554 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\287193 
090 |a 264202 
100 |a 20140617d1988 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Математическое моделирование физических процессов в элементах микросхем  |e сборник научных трудов  |f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Т. Д. Шермергора 
210 |a Москва  |c Изд-во МИЭТ  |d 1988 
215 |a 131 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр. в конце ст. 
606 1 |a Микросхемотехника  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43763  |9 63206 
610 1 |a микроэлектронные схемы интегральные 
610 1 |a математическое моделирование 
610 1 |a физические процессы 
610 1 |a элементы 
610 1 |a электромагнитные волны 
610 1 |a световые волны 
610 1 |a волноводы 
610 1 |a рассеяние 
610 1 |a расчеты 
610 1 |a точечные дефекты 
610 1 |a пьезопреобразователи 
675 |a 621.382.049.77  |z rus  |v 3 
702 1 |a Шермергор  |b Т. Д.  |g Тимофей Дмитриевич  |4 340 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)  |c (1965-1992)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140617 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150214  |g RCR 
942 |c BK