MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 26393
005 20231030201602.0
010 |a 5256011782 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\26636 
035 |a BOOK00026711 
090 |a 26393 
100 |a 20011209d1993 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y z 000zy 
200 1 |a Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2  |f Н. А. Зайцев, И. О. Шурчков 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1993 
215 |a 192 с. 
610 1 |a микросхемы кремниевые 
610 1 |a кремний 
610 1 |a диоксид кремния 
610 1 |a Si-SiO, системы 
610 1 |a электрофизические свойства 
610 1 |a электронно-ионные процессы 
675 |a 621.314.632:53  |v 3 
700 1 |a Зайцев  |b Н. А.  |g Николай Алексеевич 
701 1 |a Шурчков  |b И. О.  |g Игорь Олегович 
801 0 |a RU  |b 63413507  |c 20011209  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20051215  |g PSBO 
942 |c BK