|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
26393 |
| 005 |
20231030201602.0 |
| 010 |
|
|
|a 5256011782
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\26636
|
| 035 |
|
|
|a BOOK00026711
|
| 090 |
|
|
|a 26393
|
| 100 |
|
|
|a 20011209d1993 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2
|f Н. А. Зайцев, И. О. Шурчков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1993
|
| 215 |
|
|
|a 192 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы кремниевые
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a диоксид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a Si-SiO, системы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-ионные процессы
|
| 675 |
|
|
|a 621.314.632:53
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Зайцев
|b Н. А.
|g Николай Алексеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Шурчков
|b И. О.
|g Игорь Олегович
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20051215
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|