|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
262930 |
| 005 |
20231101233710.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\285914
|
| 090 |
|
|
|a 262930
|
| 100 |
|
|
|a 20140604d1985 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a LT
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Самоформирование в полупроводниковой технологии
|f С. Янушонис, В.-К. Ю. Янушонене
|
| 210 |
|
|
|a Вильнюс
|c Мокслас
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 192 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 184-189.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50669
|9 69320
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a векторные поля
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a точность
|
| 610 |
1 |
|
|a конфигурации
|
| 675 |
|
|
|a 621.382
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Янушонис
|b С.
|g Стяпас Стяпонович
|
| 701 |
|
1 |
|a Янушонене
|b В.-К. Ю.
|g Вида-Катрина Юлевна
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140604
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150401
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
