MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 262402
005 20231101233641.0
020 |a RU  |b 88-39029 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\285385 
090 |a 262402 
100 |a 20140531d1988 k a0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Основы технологии и материаловедения полупроводников  |f В. В. Остробородова  |g Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова (МГУ) 
210 |a Москва  |c Изд-во МГУ  |d 1988 
215 |a 98 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 98 (20 назв.) 
606 1 |a Полупроводники  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50555  |9 69206 
610 1 |a технология 
610 1 |a материаловедение 
610 1 |a кристаллическая структура 
610 1 |a легирование 
675 |a 621.315.592.002  |z rus 
700 1 |a Остробородова  |b В. В.  |g Валентина Васильевна  |4 070 
712 0 2 |a Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова (МГУ)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\7 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140531 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150227  |g RCR 
942 |c BK