|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
261352 |
| 005 |
20231031221559.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\284328
|
| 090 |
|
|
|a 261352
|
| 100 |
|
|
|a 20140522d1978 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Дефекты и диффузия в эпитаксиальных структурах
|e [монография]
|f Т. Д. Джафаров
|g Академия наук СССР (АН СССР), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ)
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Наука
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 208 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Дефекты
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50558
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a дефектообразование
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия примесей
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322:539
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Джафаров
|b Т. Д.
|g Таяр Джумшуд оглы
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ)
|c (Ленинград)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12056
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140522
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220715
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
