MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 259675
005 20231101233415.0
010 |a 5343002641 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\282621 
090 |a 259675 
100 |a 20140512d1988 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов  |f В. К. Александров, Ю. Н. Биенко, В. Н. Ильин  |g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Институт электроники 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1988 
215 |a 240 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 233-238. 
606 1 |a Контрольно-измерительные инструменты и приборы оптоэлектронные  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\15592  |9 41826 
610 1 |a микрообъекты 
610 1 |a средства контроля 
610 1 |a методы контроля 
610 1 |a классификация 
610 1 |a линейные размеры 
610 1 |a оптические изображения 
610 1 |a получение 
610 1 |a преобразование 
610 1 |a преобразователи 
610 1 |a перемещения 
675 |a 681.78  |v 3 
700 1 |a Александров  |b В. К.  |g Владимир Кузьмич 
701 1 |a Биенко  |b Ю. Н.  |g Юрий Николаевич 
701 1 |a Ильин  |b В. Н.  |g Виктор Николаевич 
712 0 2 |a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)  |b Институт электроники  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\7643 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140512 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150209  |g RCR 
942 |c BK