MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 258884
005 20231101233332.0
010 |a 5283039137 
020 |a RU  |b 88-24114 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\281774 
090 |a 258884 
100 |a 20140429d1988 k a0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Электрофизические вакуумные насосы  |f Г. Л. Саксаганский 
210 |a Москва  |c Энергоатомиздат  |d 1988 
215 |a 280 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 269-276. 
606 1 |a Вакуум-насосы  |x Рабочий процесс  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\1949  |9 30596 
610 1 |a характеристики 
610 1 |a расчет 
610 1 |a оптимизация 
610 1 |a плазменные источники 
675 |a 621.521  |z rus 
700 1 |a Саксаганский  |b Г. Л.  |g Георгий Леонидович 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140429 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20141105  |g RCR 
942 |c BK