Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Weitere Verfasser:	Белов А. Н. Алексей Николаевич
Zusammenfassung:	Электронная копия печатного издания. Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Высшее образование, 2009
Schriftenreihe:	Электронные учебники издательства "Юрайт"
Schlagworte:	Электрохимия CD-ROM учебные пособия электродные процессы анодное растворение микроструктуры наноструктуры анодные оксидные пленки полупроводники твердотельные наноструктуры катодное осаждение
Online-Zugang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/FN/fn-14.pdf
Format:	MixedMaterials Elektronisch Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=258200

Online