Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Bibliographic Details
Main Author:	Быстров Ю. А. Юрий Александрович
Other Authors:	Колгин Е. А. Евгений Алексеевич, Котлецов Б. Н. Борис Николаевич
Language:	Russian
Published:	Москва, Радио и связь, 1988
Subjects:	Микроэлектронные схемы > Производство интегральные микросхемы технический контроль размеры оптические микроскопы методы измерения пластины пленки микроструктуры травление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=258010

Similar Items

Технология изготовления интегральных микросхем: конспект лекций; Ч. 2
by: Скачков П. С. Павел Сергеевич
Published: (Москва, Изд-во МГИ, 1984)

Вып. 4; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1978)

Вып. 8; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1986)

Вып. 3; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1978)

Вып. 6; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1982)

Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1984)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1979)

Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1981)

Современные тенденции развития САПР интегральных микросхем: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Ионное травление микроструктур
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио, 1979)

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1987)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
by: Берри Р.
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1979)

Оптические методы контроля интегральных микросхем: Состояние и перспективы совершенствования
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Проблемы субмикронной технологии
Published: (Москва, Наука, 1993)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: учебник
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1987)

Явления токопереноса в тонкопленочных арсенидгаллиевых структурах
by: Костылев С. А. Сергей Александрович
Published: (Киев, Наукова думка, 1990)

Особенности формирования микроструктуры титанановых изделий, полученных методами аддитивных технологий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Мартынов С. А.
Published: (2018)

Интегральные микросхемы: учебное пособие
by: Агаханян Т. М. Татевос Мамиконович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1983)

Т. 2. Вып. 1: Микросхемы для телевидения и видеотехники; Интегральные микросхемы
Published: (1993)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Аналоговые полупроводниковые интегральные микросхемы
by: Остапенко Г. С. Григорий Степанович
Published: (Москва, Радио и связь, 1981)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
by: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
by: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Published: (2016)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Микроэлектроника в электроприборостроении: сборник научных трудов
Published: (Ленинград, ВНИИЭП, 1989)

Математические модели элементов интегральной электроники
by: Носов Ю. Р. Юрий Романович
Published: (Москва, Советское радио, 1976)

Кн. 6: Гибридные интегральные функциональные устройства; Микроэлектроника
by: Блинов Г. А. Геннадий Андреевич
Published: (1987)

Таблицы аналогов цифровых интегральных микросхем: пер. с словац.
by: Муоцик Е. Егон
Published: (Москва, Радио и связь, 1992)

Механические явления в интегральных структурах
by: Захаров Н. П. Николай Павлович
Published: (Москва, Радио и связь, 1992)

Справочник по интегральным микросхемам
Published: (Москва, Энергия, 1977)

Цифровые схемы на базе разностных элементов
by: Шагурин И. И. Игорь Иванович
Published: (Москва, Радио и связь, 1992)

Интегральные схемы и микроэлектронные устройства на сверхпроводниках
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Руководство по минералогии: учебное пособие
by: Вахромеев С. А.
Published: (Москва, Госгеолиздат, 1950)

Конструирование и расчет микросхем и микропроцессоров: учебное пособие
by: Пономарев М. Ф. Михаил Федорович
Published: (Москва, Радио и связь, 1986)

Твердотельное телевидение. Телевизионные системы с переменными параметрами на ПЗС и микропроцессорах
Published: (Москва, Радио и связь, 1986)

№ 6 (12); Качество и надежность изделий; Ускоренные испытания элементов и систем; Элементы физико-статистической теории надежности интегральных микросхем
Published: (1990)

Расчет и конструирование микросхем: учебное пособие
Published: (Киев, Вища школа, 1983)