Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Bibliographic Details
Main Author:	Быстров Ю. А. Юрий Александрович
Other Authors:	Колгин Е. А. Евгений Алексеевич, Котлецов Б. Н. Борис Николаевич
Language:	Russian
Published:	Москва, Радио и связь, 1988
Subjects:	интегральные микросхемы технический контроль размеры оптические микроскопы методы измерения пластины пленки микроструктуры травление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=258010

Similar Items

Технология изготовления интегральных микросхем конспект лекций
by: Скачков П. С. Павел Сергеевич
Published: (Москва, Изд-во МГИ, 1984)

Вып. 4
Published: (1978)

Вып. 8
Published: (1986)

Вып. 3
Published: (1978)

Вып. 6
Published: (1982)

Вып. 7
Published: (1984)

Вып. 5
Published: (1979)

Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1981)

Современные тенденции развития САПР интегральных микросхем сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Ионное травление микроструктур
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио, 1979)

Плазменная технология в производстве СБИС пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1987)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем учебное пособие
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1979)

Оптические методы контроля интегральных микросхем: Состояние и перспективы совершенствования
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Явления токопереноса в тонкопленочных арсенидгаллиевых структурах
by: Костылев С. А. Сергей Александрович
Published: (Киев, Наукова думка, 1990)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров учебник
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1987)

Т. 2. Вып. 1: Микросхемы для телевидения и видеотехники
Published: (1993)

Микроэлектроника в электроприборостроении сборник научных трудов
Published: (Ленинград, ВНИИЭП, 1989)

Физико-технологические основы микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Особенности формирования микроструктуры титанановых изделий, полученных методами аддитивных технологий
by: Мартынов С. А.
Published: (2018)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов
by: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Справочник по интегральным микросхемам
Published: (Москва, Энергия, 1977)

№ 6 (12)
Published: (1990)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology
by: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Published: (2016)

Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Т. 12 : Серии К1815 - К6500
Published: (2010)

Архитектура и технология сверхбольших интегральных схем учебно-методическое пособие
by: Прищепа С. Л.
Published: (БГУИР, БГУИР, 2024)

Справочник по интегральным микросхемам
Published: (Москва, Энергия, 1980)

Проектирование микроэлектронных цифровых устройств
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Автоматизация проектирования топологии цифровых интегральных микросхем
by: Абрайтис Л. Б. Людвикас Блажеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Физика микроэлектронных приборов сборник научных трудов
Published: (Москва, [Б. и.], 1982)

Руководство по минералогии учебное пособие
by: Вахромеев С. А.
Published: (Москва, Госгеолиздат, 1950)

Физические явления в технологии микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1982)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
by: Королев М. А. Михаил Александрович
Published: (2009)

Логическое проектирование СБИС пер. с яп.
by: Киносита К. Кодзо
Published: (Москва, Мир, 1988)

Биполярные микросхемы для интерфейсов систем автоматического управления
by: Белоус А. И. Анатолий Иванович
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1990)

Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы учебник для техникумов
by: Панфилов Ю. В. Юрий Васильевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1988)

Кн. 1
Published: (1985)

Элементы радиоэлектронных устройств справочник
by: Горошков Б. И. Борис Иванович
Published: (Москва, Радио и связь, 1988)