Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Быстров Ю. А. Юрий Александрович
مؤلفون آخرون:	Колгин Е. А. Евгений Алексеевич, Котлецов Б. Н. Борис Николаевич
اللغة:	الروسية
منشور في:	Москва, Радио и связь, 1988
الموضوعات:	Микроэлектронные схемы > Производство интегральные микросхемы технический контроль размеры оптические микроскопы методы измерения пластины пленки микроструктуры травление
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=258010

مواد مشابهة