Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Бібліографічні деталі
Автор:	Быстров Ю. А. Юрий Александрович
Інші автори:	Колгин Е. А. Евгений Алексеевич, Котлецов Б. Н. Борис Николаевич
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Радио и связь, 1988
Предмети:	Микроэлектронные схемы > Производство интегральные микросхемы технический контроль размеры оптические микроскопы методы измерения пластины пленки микроструктуры травление
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=258010

Схожі ресурси