|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
258010 |
| 005 |
20231101233245.0 |
| 010 |
|
|
|a 5256000063
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 88-12483
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\280841
|
| 090 |
|
|
|a 258010
|
| 100 |
|
|
|a 20140422d1988 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
|f Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 168 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43828
|9 63270
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a технический контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a размеры
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические микроскопы
|
| 610 |
1 |
|
|a методы измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a микроструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|z rus
|
| 700 |
|
1 |
|a Быстров
|b Ю. А.
|g Юрий Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Колгин
|b Е. А.
|g Евгений Алексеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Котлецов
|b Б. Н.
|g Борис Николаевич
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140422
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160224
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
