Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Bibliographic Details
Main Author:	Быстров Ю. А. Юрий Александрович
Other Authors:	Колгин Е. А. Евгений Алексеевич, Котлецов Б. Н. Борис Николаевич
Language:	Russian
Published:	Москва, Радио и связь, 1988
Subjects:	интегральные микросхемы технический контроль размеры оптические микроскопы методы измерения пластины пленки микроструктуры травление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=258010

Description
Physical Description:	168 с. ил.
ISBN:	5256000063

Similar Items