Быстров Ю. А. Юрий Александрович, Колгин Е. А. Евгений Алексеевич, & Котлецов Б. Н. Борис Николаевич. (1988). Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва, Радио и связь, 1988.
Chicago Style (17th ed.) CitationБыстров Ю. А. Юрий Александрович, Колгин Е. А. Евгений Алексеевич, and Котлецов Б. Н. Борис Николаевич. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва, Радио и связь, 1988, 1988.
MLA (9th ed.) CitationБыстров Ю. А. Юрий Александрович, et al. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва, Радио и связь, 1988, 1988.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.