Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие

Bibliografische gegevens
Coauteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Andere auteurs:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Дегтярёв С. В. Сергей Валентинович, Степанов И. Б. Игорь Борисович
Samenvatting:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества". Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Томск, Изд-во ТПУ, 2013
Onderwerpen:	Плазменное напыление > Физико-химические процессы электронный ресурс учебные пособия труды учёных ТПУ ионно-плазменные технологии покрытия поверхности твердые тела вакуумно-дуговые испарения магнетронные напыления тонкие пленки ионно-плазменные методы ионная имплантация плазма тлеющий разряд газоразрядная плазма физические установки Радуга-Спектр
Online toegang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/m066.pdf
Formaat:	Elektronisch Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=255023