Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей, учебное пособие

Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Outros Autores:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Дегтярёв С. В. Сергей Валентинович, Степанов И. Б. Игорь Борисович
Resumo:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества". Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Idioma:	russo
Publicado em:	Томск, Изд-во ТПУ, 2013
Assuntos:	электронный ресурс учебные пособия труды учёных ТПУ ионно-плазменные технологии покрытия поверхности твердые тела вакуумно-дуговые испарения магнетронные напыления тонкие пленки ионно-плазменные методы ионная имплантация плазма тлеющий разряд газоразрядная плазма физические установки Радуга-Спектр
Acesso em linha:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/m066.pdf
Formato:	Recurso Electrónico Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=255023

Registos relacionados

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Publicado em: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Publicado em: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие
Por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado em: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Por: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publicado em: (Москва, Радио и связь, 1983)

Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
Por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado em: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)

Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия
Publicado em: (2003)

Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями
Por: Максимович Г. Г. Георгий Григорьевич
Publicado em: (Киев, Наукова думка, 1983)

Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие
Por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado em: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
Por: Белый А. В.
Publicado em: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Плазменные покрытия с нанокристаллической и аморфной структурой
Por: Калита В. И.
Publicado em: (Москва, Лидер М, 2008)

Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан
Publicado em: (2004)

Дуговое напыление покрытия AlTiN с помощью магнитного фильтра
Por: Прокопенко Н. А.
Publicado em: (2017)

Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
Por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado em: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
Por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado em: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец.01.04.20
Por: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
Por: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicado em: (Томск, 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
Por: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2015)

Генерация потоков электродуговой плазмы сборник научных статей
Publicado em: (Новосибирск, Изд-во Институт теплофизики СО АН СССР, 1987)

Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing
Publicado em: (2016)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Publicado em: (Москва, Юрайт, 2016)

Математическое моделирование процессов в газоразрядной плазме
Por: Намитоков К. К. Кемаль Кадырович
Publicado em: (Алма-Ата, Наука, 1988)

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing
Publicado em: (2015)

Gas-discharge plasma application for ion-beam treatment of the holes' inner surfaces
Publicado em: (2021)

Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
Por: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Publicado em: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Вакуумный технологический комплекс "Спрут" плазменного магнетронно-дугового формирования поверхностных структур со сверхсвойствами
Publicado em: (2009)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"
Por: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Publicado em: (2003)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.03
Por: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Publicado em: (Томск, 2010)

Особенности измерения термоэдс циркониевого сплава с напыленным слоем никеля
Por: Асхатов А. А.
Publicado em: (2018)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Por: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Publicado em: (Москва, Техносфера, 2010)

Применение метода осаждения из абляционной плазмы для получения биоактивных покрытий на имплантантах
Por: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Publicado em: (2010)

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
Por: Чжан Ле
Publicado em: (Томск, 2020)

Ионно-плазменное напыление биоактивных покрытий на материалы медицинских имплантантов
Por: Михайдаров В. А.
Publicado em: (2005)

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
Por: Чжан Ле
Publicado em: (Томск, 2020)

Система электропитания дугового плазмогенератора с автоматическим управлением
Por: Анциферов Е. А.
Publicado em: (2010)

Плазменные покрытия
Por: Костиков В. И. Валерий Иванович
Publicado em: (Москва, Металлургия, 1978)

[Вып. 1]
Publicado em: (1967)

Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий
Publicado em: (2010)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
Por: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicado em: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Формирование функциональных слоев учебное пособие
Por: Панфилов Ю. В.
Publicado em: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
Por: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Publicado em: (Москва, Юрайт, 2023)