Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Дегтярёв С. В. Сергей Валентинович, & Степанов И. Б. Игорь Борисович. (2013). Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие. Томск, Изд-во ТПУ, 2013.
Chicago Style aipamenaНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Дегтярёв С. В. Сергей Валентинович, and Степанов И. Б. Игорь Борисович. Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие. Томск, Изд-во ТПУ, 2013, 2013.
MLA aipamenaНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), et al. Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие. Томск, Изд-во ТПУ, 2013, 2013.