|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
255010 |
| 005 |
20231101233004.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\277513
|
| 090 |
|
|
|a 255010
|
| 100 |
|
|
|a 20140325d1989 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Т. 5 : Ионно-пучковая технология
|f под ред. Ю. В. Мартыненко
|
| 210 |
|
|
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 164 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 156-161.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\284636
|x 0235-229X
|t Физические основы лазерной и пучковой технологии
|f Академия наук СССР (АН СССР), Всесоюзный институт научной и технической информации (ВИНИТИ)
|v Т. 5 : Ионно-пучковая технология
|d 1988-
|s Физические основы лазерной и пучковой технологии
|
| 606 |
1 |
|
|a Лазерная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\69460
|9 84311
|
| 610 |
1 |
|
|a пучковые технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-пучковая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические цепи
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a детали
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 675 |
|
|
|a 621.7.048.7
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Мартыненко
|b Ю. В.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140325
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191230
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
