|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
254036 |
| 005 |
20231101232911.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\276458
|
| 090 |
|
|
|a 254036
|
| 100 |
|
|
|a 20140318d1989 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Тезисы докладов VI Всесоюзного симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел (РЭМ-89)
|e Звенигород, апрель 1989 г.
|f Академия наук СССР (АН СССР), Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова (ИК) ; Академия наук СССР (АН СССР), Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов ; под ред. В. В. Аристова
|
| 210 |
|
|
|a Звенигород
|c Изд-во АН СССР
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 222 с.
|
| 320 |
|
|
|a Авторский указатель: с. 216-221.
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронная микроскопия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20357
|9 45466
|
| 610 |
1 |
|
|a симпозиумы
|
| 610 |
1 |
|
|a аналитические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a приборостроение
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a изображения
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a аналитические методы
|
| 675 |
|
|
|a 537.533.3(063)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Аристов
|b В. В.
|4 340
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Растровая электронная микроскопия и аналитические медоды исследования твердых тел (РЭМ - 89)
|c симпозиум
|d VI
|e Звенигород
|f 1989
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова (ИК)
|c (Москва)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11554
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\13268
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140318
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140530
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
