MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 253239
005 20231031214318.0
020 |a RU  |b 89-15171 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\275625 
090 |a 253239 
100 |a 20140312d1989 k a0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Датчики на основе технологии микроэлектроники  |e материалы конференции  |f Московский Дом научно-технической пропаганды им. Ф. Э. Дзержинского ; под ред. В. И. Ваганова 
210 |a Москва  |c МДНТП  |d 1989 
215 |a 176 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр. в конце докл. 
606 1 |a Датчики   |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\38743 
610 1 |a интегральные схемы 
610 1 |a газовые среды 
610 1 |a химические сенсоры 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a технологии 
610 1 |a проектирование 
610 1 |a метрологическое обеспечение 
610 1 |a применение 
675 |a 681.586.7  |v 3 
702 1 |a Ваганов  |b В. И.  |4 340 
712 0 2 |a Московский Дом научно-технической пропаганды им. Ф. Э. Дзержинского 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140312 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20140512  |g RCR 
942 |c BK