Библиографические подробности
| Другие авторы: |
Васин В. А. Владимир Анатольевич,
Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич,
Кузнецов П. С. Павел Сергеевич,
Степанчиков С. В. Сергей Валентинович |
| Примечания: | Рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную технологическую среду. Представлена классификация устройств с бесконтактным взаимодействием для вакуумного оборудования, построенная на основе реализованных и перспективных технических решений. Получено выражение, позволяющее определить максимальную интенсивность изнашивания во фрикционном контакте опорного узла усгройства с бесконтактным магнитным взаимодействием, при которой газовый поток из зоны трения равен нулю. Показаны новые технические решения устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием. Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении, в том числе наноинженерией углеродных структур и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике». |
| Опубликовано: |
Ивантеевка, Изд-во НИИ предельных технологий, 2013
|
| Серии: | Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении № 6
|
| Предметы: | |
| Формат: | Книга
|
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=252360 |