|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
250263 |
| 005 |
20231101232540.0 |
| 010 |
|
|
|a 5343000592
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 89-11149
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\272445
|
| 090 |
|
|
|a 250263
|
| 100 |
|
|
|a 20140212d1989 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур
|f В. А. Конев, Н. В. Любецкий, С. А. Тиханович
|g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Институт прикладной физики
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 133 с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 129-131 (44 назв.).
|
| 606 |
1 |
|
|a Эллипсометрия радиоволновая
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21160
|9 46195
|
| 610 |
1 |
|
|a отражательная эллипсометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a внутреннее отражение
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические системы
|
| 610 |
1 |
|
|a пропускание
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a радиоволновые эллипсомеры
|
| 675 |
|
|
|a 535.5
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Конев
|b В. А.
|g Владимир Афанасьевич
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Любецкий
|b Н. В.
|g Николай Васильевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Тиханович
|b С. А.
|g Сергей Александрович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)
|b Институт прикладной физики
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11348
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140212
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140220
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
