|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
248881 |
| 005 |
20231101232428.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\270798
|
| 090 |
|
|
|a 248881
|
| 100 |
|
|
|a 20140128d1967 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Материалы высокой чистоты
|e обзор технической и патентной литературы
|f Р. И. Барушкова
|g Центральный научно-исследовательский институт патентной информации и технико-экономических исследований (ЦНИИПИ)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во ЦНИИПИ
|d 1967
|
| 215 |
|
|
|a 35 с.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 33-34.
|
| 606 |
1 |
|
|a Металлообработка в целом
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\42494
|9 62160
|
| 606 |
1 |
|
|a Проводниковые материалы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\51759
|9 70324
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы высокой чистоты
|
| 610 |
1 |
|
|a научные исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a глубокая очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a германий
|
| 610 |
1 |
|
|a селен
|
| 610 |
1 |
|
|a индий
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковая техника
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 675 |
|
|
|a 621.7м2/8
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.59
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Барушкова
|b Р. И.
|g Роза Ивановна
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Центральный научно-исследовательский институт патентной информации и технико-экономических исследований (ЦНИИПИ)
|c (Москва)
|c (1962-1980)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\9504
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140128
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140425
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
