|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
247796 |
| 005 |
20231101232329.0 |
| 010 |
|
|
|a 5256001302
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 88-85912
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\269404
|
| 090 |
|
|
|a 247796
|
| 100 |
|
|
|a 20140115d1988 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов
|e сборник лекций
|e пер. с англ.
|f под ред. П. Антонетти, Р. А. Сурис ; пер. В. Л. Кустова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 495 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 491.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце лекций.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные большие
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43859
|9 63300
|
| 610 |
1 |
|
|a математическое моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a пучковый отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a топография
|
| 610 |
1 |
|
|a МОП-транзисторы
|
| 610 |
1 |
|
|a лекции
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.771
|z rus
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Антонетти
|b П.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Сурис
|b Р. А.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Кустов
|b В. Л.
|4 730
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140115
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140422
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
