Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие
| Autor principal: | |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Sumari: | Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и на ноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Москва, РИОР, 2014
|
| Edició: | 2-е изд. |
| Col·lecció: | Высшее образование. Бакалавриат |
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=246275 |
Ítems similars
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие
per: Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Publicat: (Москва, Высшее образование, 2009)
per: Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Publicat: (Москва, Высшее образование, 2009)
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие
per: Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Publicat: (Москва, Высшее образование, 2009)
per: Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Publicat: (Москва, Высшее образование, 2009)
Кинетические закономерности растворения металлов из тонкопленочных систем в условиях инверсионных электрохимических методов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук; спец. 02.00.05
per: Баканов В. И. Вячеслав Иванович
Publicat: (Свердловск, [Б. и.], 1987)
per: Баканов В. И. Вячеслав Иванович
Publicat: (Свердловск, [Б. и.], 1987)
Прикладная электрохимия. Теория, технология и защитные свойства гальванических покрытий: межвузовский сборник
Publicat: (Казань, Изд-во КХТИ, 1984)
Publicat: (Казань, Изд-во КХТИ, 1984)
Изучение процессов электролитического выделения индия: [оттиск]
per: Стыркас А. Д.
Publicat: (Ленинград, Изд-во ЛГУ, 1965)
per: Стыркас А. Д.
Publicat: (Ленинград, Изд-во ЛГУ, 1965)
Электрохимические основы теории коррозии металлов
per: Шаталов А. Я. Анатолий Яковлевич
Publicat: (Воронеж, Изд-во Воронежского ун-та, 1971)
per: Шаталов А. Я. Анатолий Яковлевич
Publicat: (Воронеж, Изд-во Воронежского ун-та, 1971)
Влияние концентрации камфары на электрокапиллярные кривые на ртути и на электродные процессы на кадмиевом амальгамном капельном электроде: [отдельный оттиск]
per: Стромберг А. Г. Армин Генрихович
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1957)
per: Стромберг А. Г. Армин Генрихович
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1957)
Механизм действия галоидных ионов на растворение кадмия и свинца в кислых растворах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
per: Медведева Л. А.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1956)
per: Медведева Л. А.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1956)
Электрохимические процессы на переменно-поляризуемом электроде. 2. Поведение обратимой окислительно-восстановительной системы ферри-ферроцианид калия: [отдельный оттиск]
per: Бегунов Г. А.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1962)
per: Бегунов Г. А.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1962)
Анодное растворение концентрированных индиевых амальгам: отдельный оттиск
per: Козин Л. Ф.
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1966)
per: Козин Л. Ф.
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1966)
Исследование активирующего и пассивирующего действия кислорода, поглощенного из газовой фазы, на электрохимическое поведение железного электрода в щелочных растворах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
per: Лукьянычева В. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1958)
per: Лукьянычева В. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1958)
Образование одновалентного индия при анодном растворении индиевого электрода: отдельный оттиск
per: Пчельников А. П.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1965)
per: Пчельников А. П.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1965)
Об электродных потенциалах систем элемент - отрицательный ион: [отдельный оттиск]
per: Гладышев В. П.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1977)
per: Гладышев В. П.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1977)
Влияние природы катиона фона на кинетические токи 3,3'-4,4'-бензофенонтетракарбоновой кислоты: отдельный оттиск
per: Крюкова Г. Г.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1971)
per: Крюкова Г. Г.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1971)
Зависимость тока от скорости изменения потенциала и скорости вращения дискового электрода в случае линейно изменяющегося потенциала: отдельный оттиск
per: Гирина Г. П.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1967)
per: Гирина Г. П.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1967)
Т. 2 : Электрохимия ионных расплавов; VIII Всесоюзная конференция по физической химии и электрохимии ионных расплавов и твердых электролитов, Ленинград, 11-13 октября 1983 г.
Publicat: (1983)
Publicat: (1983)
Анодные окисные покрытия на легких сплавах
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1977)
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1977)
Влияние адсорбции на полярографическое восстановление N-(2-метоксибензоил) капролактама: отдельный оттиск
per: Цагарели Г. А.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
per: Цагарели Г. А.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
К снятию электрокапиллярных кривых по форме поляризованной висячей ртутной капли: отдельный оттиск
per: Мелик-Гайказян В. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
per: Мелик-Гайказян В. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
Высокотемпературная электрохимия. Электролиты. Кинетика: сборник научных трудов
Publicat: (Свердловск, Изд-во УНЦ АН СССР, 1986)
Publicat: (Свердловск, Изд-во УНЦ АН СССР, 1986)
О причинах спадов тока на поляризационных кривых, исправленных на ток фона: отдельный оттиск
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
Электрорастворение смешанных металлических осадков с поверхности твердого индифферентого электрода: отдельный оттиск
per: Ройзенблат Е. М.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1969)
per: Ройзенблат Е. М.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1969)
Гальваностатическое восстановление перфтордифенилртути. Десорбция деполяризатора на емкостном участке кривой заряжения: отдельный оттиск
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1973)
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1973)
Квазиравновесные состояния в системах Ме-МеАтв-КАр-р: отдельный оттиск
per: Брайнина Х. З.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1965)
per: Брайнина Х. З.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1965)
Электрохимические процессы на переменно-поляризуемом электроде. 1. Описание установки и общие сведения: [оттиск]
per: Бегунов Г. А.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1961)
per: Бегунов Г. А.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1961)
К вопросу о появлении каталитических максимумов тока при электровосстановлении металлов группы железа на ртутном капельном электроде: отдельный оттиск
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1965)
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1965)
К вопросу о каталитическом выделении водорода из кислых растворов n-толуидина: отдельный оттиск
per: Тедорадзе Г. А.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
per: Тедорадзе Г. А.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1968)
Механизм полярографического восстановления аминоалкиловых эфиров метакриловой кислоты: отдельный оттиск
per: Игнатьева Ф. К.
Publicat: (Ленинград, Наука, 1971)
per: Игнатьева Ф. К.
Publicat: (Ленинград, Наука, 1971)
Полярографическое электровосстановление ионов металла при катализе лигандом - продуктом параллельной электродной реакции: отдельный оттиск
per: Турьян Я. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1978)
per: Турьян Я. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1978)
Основы электрохимии: учебник для техникумов
per: Кубасов В. Л. Владимир Леонидович
Publicat: (Москва, Химия, 1985)
per: Кубасов В. Л. Владимир Леонидович
Publicat: (Москва, Химия, 1985)
Исследование кинетики растворения окислов и восстановления металлов из расплавленных шлаков методом вращающегося дискового электрода: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
per: Бороненков В. Н.
Publicat: (Свердловск, [Б. и.], 1965)
per: Бороненков В. Н.
Publicat: (Свердловск, [Б. и.], 1965)
Исследования в области электрохимии
Publicat: (Москва, Изд-во МХТИ, 1982)
Publicat: (Москва, Изд-во МХТИ, 1982)
Электроокисление-электровосстановление комплексных солей двух-трехвалентного железа. 2. Зависимость скорости электролиза от состава: [отдельный оттиск]
per: Горбачев С. В.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1962)
per: Горбачев С. В.
Publicat: (Москва, Изд-во АН СССР, 1962)
Исследование механизма полярографических каталитических токов комплексов олова (IV) с полифенолами: отдельный оттиск
per: Турьян Я. И.
Publicat: (Ленинград, Наука, 1977)
per: Турьян Я. И.
Publicat: (Ленинград, Наука, 1977)
Уравнения переноса заряда на органическое вещество, адсорбированное на ртути: отдельный оттиск
per: Эршлер А. Б.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1973)
per: Эршлер А. Б.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1973)
Физико-химические основы электролиза хлоридов титана в расплавах с растворимым анодом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
per: Тишура Т. А.
Publicat: (Киев, [Б. и.], 1963)
per: Тишура Т. А.
Publicat: (Киев, [Б. и.], 1963)
Т. 29; Электрохимия
Publicat: (1989)
Publicat: (1989)
Исследование квазиобратимых процессов в электрохимических системах, включая тонкопленочные, и выяснение возможности их применения для физико-химических и аналитических целей: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.04
per: Гейнеман А. Э. Аркадий Эдмундович
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1978)
per: Гейнеман А. Э. Аркадий Эдмундович
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1978)
Электрохимия: прошедшие тридцать и будущие тридцать лет: пер. с англ.
Publicat: (Москва, Химия, 1982)
Publicat: (Москва, Химия, 1982)
Каталитические полярографические токи роданидных комплексов никеля. Кинетика комплексообразования: отдельный оттиск
per: Турьян Я. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1971)
per: Турьян Я. И.
Publicat: (Москва, [Б. и.], 1971)