|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
246275 |
| 005 |
20231101232205.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785369012994
|
| 010 |
|
|
|a 978-5-16-009298-0
|
| 010 |
|
|
|a 978-5-16-100019-9
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\267718
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\152728
|
| 090 |
|
|
|a 246275
|
| 100 |
|
|
|a 20080716d2014 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
|e учебное пособие
|f С. А. Гаврилов, А. Н. Белов
|
| 205 |
|
|
|a 2-е изд.
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c РИОР
|c Инфра-М
|d 2014
|
| 215 |
|
|
|a 239 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Высшее образование. Бакалавриат
|
| 320 |
|
|
|a Литература: с. 235-236.
|
| 320 |
|
|
|a Список использованных сокращений: с. 3-4.
|
| 330 |
|
|
|a Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и на ноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
|
| 606 |
1 |
|
|a Электрохимия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21014
|9 46066
|
| 610 |
1 |
|
|a электродные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрохимические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a анодное растворение
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a твердотельные наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a анодные оксидные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a катодное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 544.6(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Гаврилов
|b С. А.
|g Сергей Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Белов
|b А. Н.
|g Алексей Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131127
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150701
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Электрохимические методы исследования и анализа
|
| 900 |
|
|
|a Электрохимия
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|b 210100
|l 8.1
|
| 955 |
|
|
|l 8
|
| 959 |
|
|
|a 147/20131114
|d 5
|e 349,90
|f ЧЗТЛ:1
|f АНЛ:1
|f УФ:3
|
