Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 150-151]
Hovedforfatter:	Шпакова Н. Ю.
Andre forfattere:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727), Соловьёв А. А.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Sprog:	russisk
Udgivet:	2009
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ покрытия свойства осаждение нанесение магнетронное распыление формулы
Online adgang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/077.pdf
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245865

Lignende værker

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Udgivet: (2016)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
af: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Udgivet: (2010)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления
Udgivet: (2008)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
af: Гаранин Ю. А.
Udgivet: (2022)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
af: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2016)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
af: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Udgivet: (2022)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2015)

Применение высокочастотного магнетронного распыления для формирования на поверхности титана тонких кальций-фосфатных биосовместимых покрытий
Udgivet: (2007)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
af: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2016)

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
Udgivet: (2013)

Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N
af: Гаранин Ю. А.
Udgivet: (2023)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления
af: Рунц А. А.
Udgivet: (2022)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2021)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Udgivet: (2016)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства
Udgivet: (2006)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления
af: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Udgivet: (2010)

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
af: Майер Д. Н.
Udgivet: (2012)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2020)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
af: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Udgivet: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
af: Зелецов Д.
Udgivet: (2019)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Грибенников М. В.
Udgivet: (2013)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2010)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления
Udgivet: (2014)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂
Udgivet: (2013)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2012)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2011)

Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления
Udgivet: (2015)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Udgivet: (2019)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2016)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Сурменева М. А. Мария Александровна
Udgivet: (2010)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления
af: Просолов К. А. Константин Александрович
Udgivet: (2017)

Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения
af: Калиева Р. А.
Udgivet: (2017)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Udgivet: (Томск, 2018)

Влияние режимов магнетронного осаждения на свойства электрохромных слоёв WО3
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2010)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита
af: Сурменева М. А. Мария Александровна
Udgivet: (2009)

Влияние термической обработки на свойства кремнийсодержащих кальцийфосфатных покрытий, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Udgivet: (2010)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2009)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
af: Пархоменко Ю. Н.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2017)

Модифицирование биорезорбируемых полимерных кровеносных сосудов TISIN покрытиями методом дуального магнетронного распыления
af: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Udgivet: (2023)

Формирование тонкопленочных слоев твердооксидных топливных элементов методом магнетронного распыления диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 1.3.8
af: Соловьев А. А. Андрей Александрович
Udgivet: (Томск, 2025)