Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 150-151]
Autor principal:	Шпакова Н. Ю.
Outros Autores:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель), Соловьёв А. А.
Resumo:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Idioma:	russo
Publicado em:	2009
Assuntos:	электронный ресурс труды учёных ТПУ покрытия свойства осаждение нанесение магнетронное распыление формулы
Acesso em linha:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/077.pdf
Formato:	Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245865

Registos relacionados

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Publicado em: (2016)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
Por: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicado em: (2010)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Publicado em: (2008)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Гаранин Ю. А.
Publicado em: (2022)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Publicado em: (2022)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
Por: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicado em: (2015)

Применение высокочастотного магнетронного распыления для формирования на поверхности титана тонких кальций-фосфатных биосовместимых покрытий; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11
Publicado em: (2007)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления; Современные проблемы машиностроения
Por: Рунц А. А.
Publicado em: (2022)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
Por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado em: (2021)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Гаранин Ю. А.
Publicado em: (2023)

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Publicado em: (2013)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publicado em: (2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2012)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Publicado em: (2016)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
Por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado em: (2020)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
Por: Зелецов Д.
Publicado em: (2019)

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Майер Д. Н.
Publicado em: (2012)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
Por: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Publicado em: (2010)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2010)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Грибенников М. В.
Publicado em: (2013)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Publicado em: (2013)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Publicado em: (2006)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления; Высокие технологии в современной науке и технике
Publicado em: (2014)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
Por: Просолов К. А. Константин Александрович
Publicado em: (2017)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
Por: Пархоменко Ю. Н.
Publicado em: (Москва, МИСИС, 2017)

Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Publicado em: (2015)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2009)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Por: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Publicado em: (Томск, 2018)

Изменение микроструктуры и механических свойств защитных покрытий на основе Si-Al-N при легировании рением с помощью магнетронного распыления мишени ALSIRE в атмосфере азота и аргона; Современные проблемы машиностроения
Por: Турсунханова Р. Рыскуль
Publicado em: (2024)

Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Калиева Р. А.
Publicado em: (2017)

Влияние режимов магнетронного осаждения на свойства электрохромных слоёв WО3; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Шпакова Н. Ю.
Publicado em: (2010)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Por: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicado em: (2016)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Сурменева М. А. Мария Александровна
Publicado em: (2010)

Влияние термической обработки на свойства кремнийсодержащих кальцийфосфатных покрытий, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Publicado em: (2010)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
Por: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Publicado em: (2016)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
Por: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Publicado em: (2014)

Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней; Современные техника и технологии; Т. 3
Publicado em: (2012)

Модифицирование биорезорбируемых полимерных кровеносных сосудов TISIN покрытиями методом дуального магнетронного распыления; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Por: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Publicado em: (2023)