Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XV Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 4-8 мая 2009 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2009 Т. 2.— 2009.— [С. 150-151]
Autor principal:	Шпакова Н. Ю.
Otros Autores:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727), Соловьёв А. А.
Sumario:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Publicado:	2009
Materias:	электронный ресурс труды учёных ТПУ покрытия свойства осаждение нанесение магнетронное распыление формулы
Acceso en línea:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2009/C01/V2/077.pdf
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=245865

Descripción
Descripción Física:	1 файл (664 Кб)
Sumario:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации

Ejemplares similares