Cita APA

Шпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, & Соловьёв А. А. (2009). Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления. 2009.

Citación estilo Chicago

Шпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, and Соловьёв А. А. Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления. 2009, 2009.

Cita MLA

Шпакова Н. Ю., et al. Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления. 2009, 2009.