Шпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, & Соловьёв А. А. (2009). Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2. 2009.
Cita Chicago Style (17a ed.)Шпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, y Соловьёв А. А. Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2. 2009, 2009.
Cita MLA (9a ed.)Шпакова Н. Ю., et al. Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2. 2009, 2009.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.