APA (7th ed.) Citation

Шпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, & Соловьёв А. А. (2009). Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2. 2009.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Шпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, and Соловьёв А. А. Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2. 2009, 2009.

MLA (9th ed.) Citation

Шпакова Н. Ю., et al. Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2. 2009, 2009.