|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
245733 |
| 005 |
20231101232141.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785160063768
|
| 010 |
|
|
|a 978-5-16-100352-7
|
| 010 |
|
|
|a 978-5-76382491-9
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\267156
|
| 090 |
|
|
|a 245733
|
| 100 |
|
|
|a 20131115d2014 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
|e учебное пособие для вузов
|f Т. Н. Патрушева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Инфра-М
|a Красноярск
|c Изд-во СФУ
|d 2014
|
| 215 |
|
|
|a 260 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Высшее образование. Бакалавриат
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 250-256.
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 257.
|
| 330 |
|
|
|a В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нано-технологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
|
| 606 |
1 |
|
|a Сенсорика микроэлектронная
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\54605
|9 72725
|
| 610 |
1 |
|
|a химические газовые сенсоры
|
| 610 |
1 |
|
|a электрохимические сенсоры
|
| 610 |
1 |
|
|a характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные датчики
|
| 610 |
1 |
|
|a микроконструирование
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитометрические датчики
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические сенсоры
|
| 610 |
1 |
|
|a сенсорные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a создание
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a наноразмерные сенсоры
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Патрушева
|b Т. Н.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131115
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150706
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Микроэлектроника
|
| 900 |
|
|
|a Наноэлектроника
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|b 210100
|b 210200
|
| 955 |
|
|
|l 8
|
| 959 |
|
|
|a 147/20131114
|d 2
|e 369,90
|f ЧЗТЛ:1
|f АНЛ:1
|
