Установка для нейтронного легирования кремния на исследовательском ядерном реакторе ИРТ-Т; Современные техника и технологии; Т. 3 - Головацкий А. В. Алексей Васильевич (Физические методы в науке и технике, 2013)
Заглавие с титульного экрана