Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

Bibliographic Details
Main Author: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Other Authors: Светцов В. И. Владимир Иванович
Summary:В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Language:Russian
Published: Москва, Физматлит, 2013
Series:Фундаментальная и прикладная физика
Subjects:
неравновесная плазма
хлор
плазменные процессы
гетерогенные процессы
активные частицы
электрофизические параметры
травление
молекулярные газы
инертные газы
хлорная плазма
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241407

Similar Items

Similar Items