Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

Bibliographic Details
Main Author:	Ефремов А. М. Александр Михайлович
Other Authors:	Светцов В. И. Владимир Иванович
Summary:	В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Language:	Russian
Published:	Москва, Физматлит, 2013
Series:	Фундаментальная и прикладная физика
Subjects:	Плазма низкотемпературная > Кинетическая теория неравновесная плазма хлор плазменные процессы гетерогенные процессы активные частицы электрофизические параметры травление молекулярные газы инертные газы хлорная плазма
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241407

Similar Items

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
by: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Published: (Москва, Физматлит, 2012)

Т. III-3 : Транспортные свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Published: (2009)

Т. 8: Плазменная металлургия; Низкотемпературная плазма
Published: (1992)

Т. VIII-1. Химия низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Published: (2005)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Элементарные процессы и кинетика низкотемпературной плазмы: учебное пособие
by: Девятов А. М. Альфат Минниханович
Published: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Мощные генераторы плазмы
by: Глебов И. А. Игорь Алексеевич
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

"Неравновесная плазма" как фактор активации гемокоагуляции; Тромбоз, гемостаз и реология; № 2 (66)
Published: (2016)

Динамика мощных импульсных излучений и плазменных образований
by: Ступицкий Е. Л. Евгений Леонидович
Published: (Москва, Физматлит, 2006)

Вопросы физики низкотемпературной плазмы: сборник статей
Published: (Минск, Наука и техника, 1970)

Импульсный ток и релаксация в газе
by: Малкин О. А. Олег Алексеевич
Published: (Москва, Атомиздат, 1974)

Теплофизические свойства низкотемпературной плазмы
Published: (Москва, Наука, 1976)

Разряд в смесях инертных газов
by: Шибкова Л. В.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2005)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Published: (Казань, Изд-во КАИ, 1983)

Экспериментальные и теоретические исследования плазмохимических процессов: [сборник трудов]
Published: (Москва, Наука, 1984)

Функция распределения электронов в анизотропной плазме
by: Мустафаев А. С. Александр Сеит-Умерович
Published: (Санкт-Петербург, Изд-во НМСУ, 2013)

Т. 4: Плазмохимическая технология; Низкотемпературная плазма
Published: (1991)

Т. 6: ВЧ- и СВЧ- плазмотроны; Низкотемпературная плазма
Published: (1992)

Физика, техника и применение низкотемпературной плазмы: труды IV Всесоюзной конференции по физике и генераторам низкотемпературной плазмы
Published: (Алма-Ата, 1970)

Т. 5: Устойчивость горения электрической дуги; Низкотемпературная плазма
Published: (1992)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Published: (Казань, Изд-во КАИ, 1985)

Прикладная плазмохимия: учебное пособие
by: Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Теория и расчет приэлектродных процессов; Низкотемпературная плазма
Published: (Новосибирск, Наука, 1992)

Плазменные техника и технологии: электронный курс
by: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Published: (Томск, TPU Moodle, 2015)

Плазменные и селективные по изотопам процессы в потоке ВЧ-плазмы, находящейся во внешнем магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
by: Ижойкин Д. А.
Published: (2017)

Т. I-3: Ионосферная плазма. Ч. 1; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Published: (Москва, Янус-К, 2008)

Неравновесная плазма многозарядных ионов
Published: (Москва, Наука, 1992)

Динамика элементарных атомно-молекулярных процессов в газе и плазме
Published: (Москва, Наука, 1991)

Измерение электронной концентрации и проводимости частично ионизованной плазмы инертных газов; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 124, вып. 5
Published: (2003)

Основы физики процессов в устройствах с низкотемпературной плазмой
by: Недоспасов А. В. Артур Владимирович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1991)

Процессы переноса в многокомпонентной плазме
by: Жданов В. М.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Полимеризация в плазме: пер. с англ.
by: Ясуда Х.
Published: (Москва, Мир, 1988)

Разряд в смесях инертных газов
by: Шибкова Л. В. Лидия Владимировна
Published: (Москва, Физматлит, 2005)

Термодинамический расчет равновесного состава воздушной плазмы, взаимодействующей с компонентами пиротехнических составов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 306, № 3
by: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Published: (2003)

Низкотемпературная плазма в металлургии
by: Краснов А. Н. Адольф Никитович
Published: (Москва, Металлургия, 1970)

Физика и техника низкотемпературной плазмы: сборник научных трудов
Published: (Минск, Ин-т тепло и массобмена, 1977)

Лазерный контроль дисперсной фазы гетерогенной плазмы; Изотопы: технологии, материалы и применение
by: Гамов Д. Л. Денис Леонидович
Published: (2016)

Основы плазменной электроники: учебное пособие
by: Протасов Ю. С. Юрий Степанович
Published: (Москва, Изд-во МГТУ, 2006)