Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации

Bibliographische Detailangaben
Parent link:VI Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике: тезисы докладов, Томск 27-29 мая 1986 г./ Сильноточная электроника ; Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; под ред. О. Б. Ладыженского.— , 1986
Ч. 3.— 1986.— С. 184-186
1. Verfasser: Араубов Н. М.
Weitere Verfasser: Исаев Г. П., Рябчиков А. И. Александр Ильич
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: 1986
Schlagworte:
Format: Buchkapitel
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237484

Ähnliche Einträge