Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации; VI Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике; Ч. 3
| Parent link: | VI Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике: тезисы докладов, Томск 27-29 мая 1986 г./ Сильноточная электроника ; Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; под ред. О. Б. Ладыженского.— , 1986 Ч. 3.— 1986.— С. 184-186 |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Andre forfattere: | , |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
1986
|
| Fag: | |
| Format: | MixedMaterials Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237484 |