Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации

Bibliographic Details
Parent link:	VI Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике: тезисы докладов, Томск 27-29 мая 1986 г./ Сильноточная электроника ; Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; под ред. О. Б. Ладыженского.— , 1986 Ч. 3.— 1986.— С. 184-186
Main Author:	Араубов Н. М.
Other Authors:	Исаев Г. П., Рябчиков А. И. Александр Ильич
Published:	1986
Subjects:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=237484

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	237484
005	20231031204845.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\258658
035			\|a RU\TPU\book\258651
090			\|a 237484
100			\|a 20130516a1986 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации \|f Н. М. Араубов, Г. П. Исаев, А. И. Рябчиков
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\book\171766 \|t VI Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике \|o тезисы докладов, Томск 27-29 мая 1986 г. \|f Сильноточная электроника ; Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; под ред. О. Б. Ладыженского \|d 1986
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\book\154839 \|t Ч. 3 \|v С. 184-186 \|d 1986 \|p 228 с.
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Араубов \|b Н. М.
701		1	\|a Исаев \|b Г. П.
701		1	\|a Рябчиков \|b А. И. \|c физик \|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук \|f 1950- \|g Александр Ильич \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20130516
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20130516 \|g RCR
942			\|c BK