Араубов Н. М., Исаев Г. П., & Рябчиков А. И. Александр Ильич. (1986). Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации. 1986.
Chicago Style (17th ed.) CitationАраубов Н. М., Исаев Г. П., and Рябчиков А. И. Александр Ильич. Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации. 1986, 1986.
MLA (9th ed.) CitationАраубов Н. М., et al. Вакуумно-дуговой частотно-импульсный источник ионов для имплантации. 1986, 1986.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.