|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
236152 |
| 005 |
20260105163255.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\257300
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\257260
|
| 090 |
|
|
|a 236152
|
| 100 |
|
|
|a 20130419d2012 k||y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 200 |
1 |
|
|a Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets
|f F. E. Bozheyev, Y. A. Irtegov, M. V. Dronova
|g sci. adv. V. M. Pogrebenkov
|d Исследование тонких пленок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней
|
| 203 |
|
|
|a Text
|c electronic
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(331 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 31 (1 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a В работе представлены результаты исследования тонких плёнок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней в атмосфере аргона. Мишени для магнетронного распыления получали путем компактирования нанослоистого порошка дисульфида вольфрама приготовленного методом СВС. Тонкие плёнки напылялись на стеклянные, металлические и стеклянные подложки при различных мощностях и времени напыления. В работе исследуются оптические свойства, морфология и рентгенофазовый состав тонких пленок дисульфида вольфрама.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256864
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|o сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 30-31]
|l Prospects of fundamental sciences development
|d 2012
|
| 510 |
1 |
|
|a Исследование тонких пленок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней
|z rus
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a дисульфид вольфрама
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a наноструктурные состояния
|
| 700 |
|
1 |
|a Bozheyev
|b F. E.
|
| 701 |
|
1 |
|a Irtegov
|b Y. A.
|
| 701 |
|
1 |
|a Dronova
|b M. V.
|
| 702 |
|
1 |
|a Pogrebenkov
|b V. M.
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131016
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/005.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
