Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). [С. 30-31].— , 2012 |
|---|---|
| Автор: | |
| Інші автори: | , , |
| Резюме: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования тонких плёнок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней в атмосфере аргона. Мишени для магнетронного распыления получали путем компактирования нанослоистого порошка дисульфида вольфрама приготовленного методом СВС. Тонкие плёнки напылялись на стеклянные, металлические и стеклянные подложки при различных мощностях и времени напыления. В работе исследуются оптические свойства, морфология и рентгенофазовый состав тонких пленок дисульфида вольфрама. |
| Опубліковано: |
2012
|
| Серія: | Физика |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/005.pdf |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236152 |
| Фізичний опис: | 1 файл(331 Кб) |
|---|---|
| Резюме: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования тонких плёнок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней в атмосфере аргона. Мишени для магнетронного распыления получали путем компактирования нанослоистого порошка дисульфида вольфрама приготовленного методом СВС. Тонкие плёнки напылялись на стеклянные, металлические и стеклянные подложки при различных мощностях и времени напыления. В работе исследуются оптические свойства, морфология и рентгенофазовый состав тонких пленок дисульфида вольфрама. |