Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2012.— [С. 30-31] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования тонких плёнок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней в атмосфере аргона. Мишени для магнетронного распыления получали путем компактирования нанослоистого порошка дисульфида вольфрама приготовленного методом СВС. Тонкие плёнки напылялись на стеклянные, металлические и стеклянные подложки при различных мощностях и времени напыления. В работе исследуются оптические свойства, морфология и рентгенофазовый состав тонких пленок дисульфида вольфрама. |
| Language: | English |
| Published: |
2012
|
| Series: | Физика |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/005.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236152 |
| Physical Description: | 1 файл(331 Кб) |
|---|---|
| Summary: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования тонких плёнок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней в атмосфере аргона. Мишени для магнетронного распыления получали путем компактирования нанослоистого порошка дисульфида вольфрама приготовленного методом СВС. Тонкие плёнки напылялись на стеклянные, металлические и стеклянные подложки при различных мощностях и времени напыления. В работе исследуются оптические свойства, морфология и рентгенофазовый состав тонких пленок дисульфида вольфрама. |