Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets

Бібліографічні деталі
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов IX Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2012 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). [С. 30-31].— , 2012
Автор: Bozheyev F. E.
Інші автори: Irtegov Y. A. (727), Dronova M. V., Pogrebenkov V. M.
Резюме:Заглавие с экрана
В работе представлены результаты исследования тонких плёнок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней в атмосфере аргона. Мишени для магнетронного распыления получали путем компактирования нанослоистого порошка дисульфида вольфрама приготовленного методом СВС. Тонкие плёнки напылялись на стеклянные, металлические и стеклянные подложки при различных мощностях и времени напыления. В работе исследуются оптические свойства, морфология и рентгенофазовый состав тонких пленок дисульфида вольфрама.
Опубліковано: 2012
Серія:Физика
Предмети:
Онлайн доступ:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2012/C21/005.pdf
Формат: Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=236152
Опис
Фізичний опис:1 файл(331 Кб)
Резюме:Заглавие с экрана
В работе представлены результаты исследования тонких плёнок дисульфида вольфрама, полученных магнетронным распылением наноструктурных мишеней в атмосфере аргона. Мишени для магнетронного распыления получали путем компактирования нанослоистого порошка дисульфида вольфрама приготовленного методом СВС. Тонкие плёнки напылялись на стеклянные, металлические и стеклянные подложки при различных мощностях и времени напыления. В работе исследуются оптические свойства, морфология и рентгенофазовый состав тонких пленок дисульфида вольфрама.