Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике: сборник научных трудов II Всероссийской научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов с международным участием, Томск, 27-29 марта 2013 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2013 Т. 1.— 2013.— [С. 221-225]
Outros autores:	Сергеев В. П. Виктор Петрович, Нейфельд В. В., Калашников М. П. Марк Петрович, Рыбалко Е. В.
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Idioma:	ruso
Publicado:	2013
Series:	Технологии наноматериалов и материалов нового поколения
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс структура фазовые составы покрытия магнетронное распыление нитриды оксид кремния оксид алюминия
Acceso en liña:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C17/V1/059.pdf
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=235592

Títulos similares

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Publicado: (2022)

Формирование градиентных покрытий на основе, Ti-Al-Cr-B-N при ионно-магнетронном распылении композиционных мишеней; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Publicado: (2017)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Петрова Ю. С.
Publicado: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
por: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicado: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicado: (2009)

Исследование процессов получения композиционных материалов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в системе ZR-O-N; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
Publicado: (2012)

Synthesis and Study on Pore Structure of SiO[2]/Al[2]O[3] Aerogel; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
Publicado: (2015)

Эволюция пористой структуры и текстуры нанопористых материалов SiO[2]/Al[2]O[3] при прокаливании; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
por: Глазкова Е. А. Елена Алексеевна
Publicado: (2016)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
por: Петрюк А. Е.
Publicado: (2018)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
por: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Publicado: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Thermal Stability of TiZrAlN and TiZrSiN Films Formed by Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 9, iss. 3
Publicado: (2018)

Evolution of Porous Structure and Texture in Nanoporous SiO[2]/Al[2]O[3] Materials during Calcination; AIP Conference Proceedings; Vol. 1783 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2016
por: Glazkova E. A. Elena
Publicado: (2016)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado: (2009)

Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика
Publicado: (2011)

Formation and structural features of nitrogen-doped titanium dioxide thin films grown by reactive magnetron sputtering; Applied Surface Science; Vol. 534
Publicado: (2020)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Андреева М. А.
Publicado: (2016)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Publicado: (2015)

Физико-механические свойства наноструктурированной керамики на основе Al2O3 упрочненной YSZ; Фундаментальные проблемы современного материаловедения; Т. 22, № 1
por: Кузьменко Е. Д. Егор Дмитриевич
Publicado: (2025)

Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Калиева Р. А.
Publicado: (2017)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Publicado: (2015)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Сунь Чжилэй
Publicado: (2019)

Потенциал использования тонкопленочного гетероперехода SnS/ZnO, полученного методом магнетронного распыления; Фундаментальные исследования; № 6, ч. 2
por: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Publicado: (2016)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Сунь Чжилэй
Publicado: (2020)

Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения
por: Фишер М. Э.
Publicado: (2025)

Effect of nitrogen content on structural and mechanical properties of AlTiZrTaHf(-N) high entropy films deposited by reactive magnetron sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 432
Publicado: (2022)

Роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении в формировании функциональных свойств хромовых покрытий; Современные проблемы машиностроения
por: Алкенова К. А.
Publicado: (2022)

Structural Phase State and Mechanical Properties of the Si-Al-N Coatings with Different Concentration Ratio of Al and Si; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Publicado: (2015)

Фтороаммонийное разделение многокомпонентных силикатных систем на индивидуальные оксиды: диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 05.17.02
por: Крайденко Р. И. Роман Иванович
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2007)

Диагностика фазовых превращений при отжиге ультрадисперсных плазмохимических порошков системы 80Al[2]O[3]-20(ZrO[2]-Y); Контроль. Диагностика; № 13
Publicado: (2014)

Фтороаммонийное разделение многокомпонентных силикатных систем на индивидуальные оксиды: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 05.17.02
por: Крайденко Р. И. Роман Иванович
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2008)

Фтороаммонийное разделение многокомпонентных силикатных систем на индивидуальные оксиды: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 05.17.02
por: Крайденко Р. И. Роман Иванович
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2008)

Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado: (2022)

Сцинтиллирующие стёкла системы Li2-BAO-SiO2; Современные техника и технологии; Т. 1
por: Шамсутдинова М. Б.
Publicado: (2006)

Pulsed Plasma-Chemical Modification of SiO2 Nanopowder by ZnxOy Nanoparticles; International Journal of Nanoscience; Vol. 20, iss. 1
Publicado: (2021)

Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 10
por: Кулинич О. А.
Publicado: (2003)

Influence of the duration of aging the system Ti/Al2O3 in a hydrogen atmosphere on hydrogen sorption, and electrical conductivity of the film; Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Vol. 5, iss. 12 (95)
Publicado: (2018)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью; Современные проблемы машиностроения
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (2022)

Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Publicado: (2017)

Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней; Современные техника и технологии; Т. 3
Publicado: (2012)

Изменение морфологических свойств системы оксид лантана (III), оксид титана (IV), бор под действием механической активации; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
por: Закусилов В. В. Владислав Владимирович
Publicado: (2016)