|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
235592 |
| 005 |
20260105114129.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\256731
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\256727
|
| 090 |
|
|
|a 235592
|
| 100 |
|
|
|a 20130412d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
|f В. П. Сергеев [и др.]
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Технологии наноматериалов и материалов нового поколения
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 224-225 (6 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256460
|t Высокие технологии в современной науке и технике
|o сборник научных трудов II Всероссийской научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов с международным участием, Томск, 27-29 марта 2013 г
|o в 2 т.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|d 2013
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\256463
|t Т. 1
|v [С. 221-225]
|d 2013
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовые составы
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a нитриды
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид алюминия
|
| 701 |
|
1 |
|a Сергеев
|b В. П.
|c специалист в области материаловедения
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1949-
|g Виктор Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25827
|9 11700
|
| 701 |
|
1 |
|a Нейфельд
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Калашников
|b М. П.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|g Марк Петрович
|9 15908
|
| 701 |
|
1 |
|a Рыбалко
|b Е. В.
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131118
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C17/V1/059.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
