Сергеев В. П. Виктор Петрович, Нейфельд В. В., Калашников М. П. Марк Петрович, & Рыбалко Е. В. (2013). Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al: Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1. 2013.
Cita Chicago (17th ed.)Сергеев В. П. Виктор Петрович, Нейфельд В. В., Калашников М. П. Марк Петрович, i Рыбалко Е. В. Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al: Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1. 2013, 2013.
Cita MLA (9th ed.)Сергеев В. П. Виктор Петрович, et al. Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al: Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1. 2013, 2013.