Сергеев В. П. Виктор Петрович, Нейфельд В. В., Калашников М. П. Марк Петрович, & Рыбалко Е. В. (2013). Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al: Si. 2013.
Style de citation Chicago (17e éd.)Сергеев В. П. Виктор Петрович, Нейфельд В. В., Калашников М. П. Марк Петрович, et Рыбалко Е. В. Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al: Si. 2013, 2013.
Style de citation MLA (9e éd.)Сергеев В. П. Виктор Петрович, et al. Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al: Si. 2013, 2013.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.