Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 18-22 апреля 2011 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011 Т. 3.— 2011.— [С. 7-8]
Main Author:	Азина М. А.
Other Authors:	Бутько Я. А. Яна Александровна (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2011
Series:	Физические методы в науке и технике
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс осаждение пленки реактивные газы распыление
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2011/C01/V03/001.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=234943

Similar Items

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Киселева Д. В.
Published: (2015)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2020)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Published: (2011)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Published: (2022)

Т. 1; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
Published: (Москва, Наука, 1981)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления; Современные проблемы машиностроения
by: Рунц А. А.
Published: (2022)

Реактивное оружие
by: Егоров П. Т. Павел Тимофеевич
Published: (Москва, Военное издательство Министерства обороны Союза ССР, 1960)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
by: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Published: (Москва, Энергия, 1966)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2019)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Published: (2013)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Published: (Томск, 2010)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2012)

Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
Published: (2018)

Осаждение пленок арсенида галлия методом импульсной ионной абляции и их свойства; Физика твердого тела
Published: (2009)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Published: (Томск, 2010)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, 1998)

Осаждение пленок арсенида галлия ионной абляцией и их термическая и химическая пассивация; ФВЗЧК-2011
Published: (2011)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Published: (2016)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Published: (Томск, 2010)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1998)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Смирнова К. И.
Published: (Томск, 1971)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Осипова Е. С.
Published: (2023)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
by: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Published: (2016)

Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti; Приборы и техника эксперимента; № 3
by: Перекрестов В. И.
Published: (2002)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Published: (2022)

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Published: (Москва, Атомиздат, 1970)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Published: (2019)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Published: (2016)

Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда; Упрочняющие технологии и покрытия; № 4
Published: (2016)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
by: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Published: (2004)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)