Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 2.— 2010.— [С. 339-341]
Autor Principal:	Козин К. А. Кирилл Андреевич
Outros autores:	Горюнов А. Г. Алексей Германович (научный руководитель), Ливенцов С. Н.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации
Idioma:	ruso
Publicado:	2010
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ реакторы алгоритмы управления поликристаллический кремний производство температурные распределения поверхности стержни кремний парогазовые смеси системы управления двухконтурные системы структурные схемы
Acceso en liña:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V2/144.pdf
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233522

Títulos similares

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Publicado: (2009)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2011)

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2009)

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Publicado: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Publicado: ()

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
por: Андреев А. А. Артем Андреевич
Publicado: (2007)

Установка для получения поликристаллического кремния
Publicado: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (Томск, 2010)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
por: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (2013)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (Томск, 2010)

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Publicado: ()

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Publicado: (2010)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Publicado: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Publicado: ()

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
Publicado: (2012)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
por: Цивинская Ю. С.
Publicado: (2012)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
por: Лапатин Л. Г.
Publicado: (2009)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Publicado: (2014)

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Publicado: (2009)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Publicado: (2020)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
por: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Publicado: (2012)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Publicado: ()

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
por: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Publicado: (Минск, Наука и техника, 1992)

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Publicado: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
por: Карелин В. А. Владимир Александрович
Publicado: (2005)

Т. 6: Соединения селена, теллура, кремния и бора; Общая органическая химия
Publicado: (1984)

Неорганические бескислородные соединения кремния: учебное пособие
por: Торопов Н. А. Никита Александрович
Publicado: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)

Разработка и внедрение систем автоматического управления процессами аффинажных и конверсионных производств на предприятиях атомной промышленности: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 05.13.06
por: Горюнов А. Г. Алексей Германович
Publicado: (Томск, 2012)

Разработка и внедрение систем автоматического управления процессами аффинажных и конверсионных производств на предприятиях атомной промышленности: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 05.13.06
por: Горюнов А. Г. Алексей Германович
Publicado: (Томск, 2012)

Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 11
Publicado: (2003)

Технология полупроводникового кремния
Publicado: (Москва, Металлургия, 1992)

Диаграммы состояния неметаллических систем. Окислы металлических элементов и кремния
por: Агеева Д. Л.
Publicado: (Москва, ВИНИТИ, 1966)

Т.8: Окислы металлических элементов и кремния; Диаграммы состояния неметаллических систем
Publicado: (1973)

Производство полупроводникового кремния
por: Салли И. В. Илья Васильевич
Publicado: (Москва, Металлургия, 1970)

Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
por: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
Publicado: (Томск, 2014)