Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
| Parent link: | Современные техника и технологии: сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г/ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2010 Т. 2.— 2010.— [С. 339-341] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Outros Autores: | , |
| Resumo: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
2010
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V2/144.pdf |
| Formato: | Recurso Electrónico Capítulo de Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=233522 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 233522 | ||
| 005 | 20251218093532.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\254600 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\254598 | ||
| 090 | |a 233522 | ||
| 100 | |a 20130305d2010 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния |f К. А. Козин, А. Г. Горюнов |g науч. рук. С. Н. Ливенцов | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (314 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\245271 |t Современные техника и технологии |o сборник трудов XVI Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 12-16 апреля 2010 г |o в 3 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2010 | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\250479 |t Т. 2 |v [С. 339-341] |d 2010 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a реакторы | |
| 610 | 1 | |a алгоритмы управления | |
| 610 | 1 | |a поликристаллический кремний | |
| 610 | 1 | |a производство | |
| 610 | 1 | |a температурные распределения | |
| 610 | 1 | |a поверхности | |
| 610 | 1 | |a стержни | |
| 610 | 1 | |a кремний | |
| 610 | 1 | |a парогазовые смеси | |
| 610 | 1 | |a системы управления | |
| 610 | 1 | |a двухконтурные системы | |
| 610 | 1 | |a структурные схемы | |
| 700 | 1 | |a Козин |b К. А. |c специалист в области автоматики и электроники |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1980- |g Кирилл Андреевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25934 |9 11784 | |
| 701 | 1 | |a Горюнов |b А. Г. |c специалист в области автоматического управления |c заведующий кафедрой Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1979- |g Алексей Германович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25726 |9 11628 | |
| 702 | 1 | |a Ливенцов |b С. Н. |4 727 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20130213 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20130514 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2010/C01/V2/144.pdf | |
| 942 | |c CF | ||