Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows.— 2004.— [P. 332-335]
Diğer Yazarlar:	Yanin S. N., Zhukov V. V., Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Patsevich V. V.
Özet:	Title from the title-page. A phenomenological model of DC magnetron discharge has been created on basis of probe measurements of cathode-fall potential. Ionization rate of operating gas, plasma density depending on discharge current, coordinate distribution of ion and electron discharge current, energy distribution of accelerated argon ions on target surface had been calculated. It is shown that cathode-fall potential is characteristic of DC magnetron sputtering system and main processes caused material sputtering take place within a area several millimeters thickness near the target surface. Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ Text files
Dil:	İngilizce
Baskı/Yayın Bilgisi:	2004
Seri Bilgileri:	Modification of material properties
Konular:	физика магнетронные разряды феноменологические модели постоянный ток плазма газы ионизация ускоренные ионы ускоренные электроны магнетронное распыление труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Erişim:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/c/2004/C13/045.pdf
Materyal Türü:	Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=232094

Benzer Materyaller

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
Yazar:: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2006)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
Yazar:: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, [Б. и.], 2007)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
Baskı/Yayın Bilgisi: (2005)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)

The physico-chemical properties of electrospun vascular PLLA scaffolds modified by the DC magnetron sputtering of a titanium target; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Yazar:: Marjin (Maryin) P. V. Pavel Vladimirovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Ренгенофлуоресцентный анализ возбуждением ускоренными легкими ионами
Yazar:: Муминов В. А. Вафо Арабович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ташкент, Фан, 1980)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
Yazar:: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Yazar:: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2016)

Magnetron deposition of TCO films using ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Yazar:: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Yazar:: Андреева М. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Surface Modification of Electrospun Bioresorbable and Biostable Scaffolds by Pulsed DC Magnetron Sputtering of Titanium for Gingival Tissue Regeneration; Polymers; Vol. 14, iss. 22
Baskı/Yayın Bilgisi: (2022)

Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Тепломассоперенос в твердом теле под действием мощных пучков заряженных частиц
Yazar:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Новосибирск, Наука, 1999)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
Yazar:: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2021)

Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Yazar:: Luchin A. V.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Peculiarities of metal coatings deposition using magnetron sputtering systems with hot and evaporative targets; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
Yazar:: Кузнецов Г. Д.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИС, 2012)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Yazar:: Рогожников Д. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Ускоренные пучки и их применение
Yazar:: Рябухин Ю. С. Юрий Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Атомиздат, 1980)

Сравнение радиационного воздействия на металлическую мишень ускоренных атомов и ионов; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Yazar:: Прима А. И. Артем Игоревич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)

Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
Yazar:: Кузнецов Г. Д.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИС, 2012)

Ntibacterial potential of Zn- and Cu- substituted hydroxyapatite coatings deposited by RF-magnetron sputtering: structure and properties; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia: proceedings
Baskı/Yayın Bilgisi: (Tomsk, Kursiv, 2002)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Baskı/Yayın Bilgisi: (2008)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Yazar:: Целовальникова А. Е.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)

A Plasma System for Low-Emissive Coating Deposition; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
Yazar:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2010)

Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

RF-Magnetron Sputtering of Calcium Phosphates for Medical Implants: Structure and Properties; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Investigation of Plasma Filter Influence on Ions Charge State of DC Vacuum Arc Plasma; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
Yazar:: Abrahamyan A. S.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Antibacterial potential of Zn- and Cu-substituted hydroxyapatite-based coatings deposited by RF-magnetron sputtering; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1393 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Yazar:: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)