Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows

Xehetasun bibliografikoak
Parent link:	7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows.— 2004.— [P. 332-335]
Beste egile batzuk:	Yanin S. N., Zhukov V. V., Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Patsevich V. V.
Gaia:	Title from the title-page. A phenomenological model of DC magnetron discharge has been created on basis of probe measurements of cathode-fall potential. Ionization rate of operating gas, plasma density depending on discharge current, coordinate distribution of ion and electron discharge current, energy distribution of accelerated argon ions on target surface had been calculated. It is shown that cathode-fall potential is characteristic of DC magnetron sputtering system and main processes caused material sputtering take place within a area several millimeters thickness near the target surface. Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ Text files
Hizkuntza:	ingelesa
Argitaratua:	2004
Saila:	Modification of material properties
Gaiak:	физика магнетронные разряды феноменологические модели постоянный ток плазма газы ионизация ускоренные ионы ускоренные электроны магнетронное распыление труды учёных ТПУ электронный ресурс
Sarrera elektronikoa:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/c/2004/C13/045.pdf
Formatua:	Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=232094

Antzeko izenburuak

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Argitaratua: (2019)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
nork: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Argitaratua: (Томск, [Б. и.], 2006)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
nork: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Argitaratua: (Москва, [Б. и.], 2007)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
Argitaratua: (2005)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Argitaratua: (2004)

The physico-chemical properties of electrospun vascular PLLA scaffolds modified by the DC magnetron sputtering of a titanium target; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
nork: Marjin (Maryin) P. V. Pavel Vladimirovich
Argitaratua: (2018)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Argitaratua: (2013)

Ренгенофлуоресцентный анализ возбуждением ускоренными легкими ионами
nork: Муминов В. А. Вафо Арабович
Argitaratua: (Ташкент, Фан, 1980)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
nork: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Argitaratua: (Томск, 2016)

Magnetron deposition of TCO films using ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
nork: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Argitaratua: (2015)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
nork: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Argitaratua: (2004)

Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Argitaratua: (2018)

Surface Modification of Electrospun Bioresorbable and Biostable Scaffolds by Pulsed DC Magnetron Sputtering of Titanium for Gingival Tissue Regeneration; Polymers; Vol. 14, iss. 22
Argitaratua: (2022)

Тепломассоперенос в твердом теле под действием мощных пучков заряженных частиц
nork: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Argitaratua: (Новосибирск, Наука, 1999)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Андреева М. А.
Argitaratua: (2016)

Peculiarities of metal coatings deposition using magnetron sputtering systems with hot and evaporative targets; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Argitaratua: (2018)

Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
nork: Luchin A. V.
Argitaratua: (2019)

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
nork: Кузнецов Г. Д.
Argitaratua: (Москва, МИСИС, 2012)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Argitaratua: (2019)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
nork: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Argitaratua: (2021)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Рогожников Д. С.
Argitaratua: (2016)

Сравнение радиационного воздействия на металлическую мишень ускоренных атомов и ионов; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
nork: Прима А. И. Артем Игоревич
Argitaratua: (2020)

Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
nork: Кузнецов Г. Д.
Argitaratua: (Москва, МИСИС, 2012)

6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia: proceedings
Argitaratua: (Tomsk, Kursiv, 2002)

Ntibacterial potential of Zn- and Cu- substituted hydroxyapatite coatings deposited by RF-magnetron sputtering: structure and properties; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Argitaratua: (2019)

Ускоренные пучки и их применение
nork: Рябухин Ю. С. Юрий Сергеевич
Argitaratua: (Москва, Атомиздат, 1980)

A Plasma System for Low-Emissive Coating Deposition; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Argitaratua: (2004)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
Argitaratua: (2020)

Investigation of Plasma Filter Influence on Ions Charge State of DC Vacuum Arc Plasma; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Argitaratua: (2004)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Целовальникова А. Е.
Argitaratua: (2019)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Argitaratua: (2008)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Argitaratua: (2019)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Argitaratua: (2019)

RF-Magnetron Sputtering of Calcium Phosphates for Medical Implants: Structure and Properties; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Argitaratua: (2019)

The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Argitaratua: (2015)

Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Argitaratua: (2003)

Antibacterial potential of Zn- and Cu-substituted hydroxyapatite-based coatings deposited by RF-magnetron sputtering; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1393 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Argitaratua: (2019)

Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
nork: Abrahamyan A. S.
Argitaratua: (2019)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
nork: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Argitaratua: (2010)

Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
nork: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Argitaratua: (2019)