|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
228474 |
| 005 |
20231101230859.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\248949
|
| 090 |
|
|
|a 228474
|
| 100 |
|
|
|a 20121219d1980 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Современные проблемы эллипсометрии
|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП) ; под ред. А. В. Ржанова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 192 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Эллипсометрия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21157
|9 46192
|
| 610 |
1 |
|
|a проблемы
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a свет
|
| 610 |
1 |
|
|a отражение
|
| 610 |
1 |
|
|a измерения
|
| 675 |
|
|
|a 535.5
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Ржанов
|b А. В.
|c Анатолий Васильевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт физики полупроводников (ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121219
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130211
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
