Магнетронные установки для ионно-плазменной обработки материалов

Библиографические подробности
Источник:9-я Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9, 23-25 апреля 1996 г.: сборник тезисов докладов/ Томский политехнический университет ; Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9. С. 13-14.— , 1996
Другие авторы: Ананьин П. С. Петр Семенович, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Ващенко А. А., Золотарев А. И., Зубарев С. М., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Легостаев В. Н. Виктор Никифорович, Носкова Т. Г., Пащенко О. В. Олег Валентинович, Смоленцев В. К., Степанов Б. П. Борис Павлович, Ясин С. Н.
Опубликовано: 1996
Предметы:
Формат: Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=227656

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 227656
005 20240212114718.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\248091 
035 |a RU\TPU\book\51862 
090 |a 227656 
100 |a 20121210d1996 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Магнетронные установки для ионно-плазменной обработки материалов  |f П. С. Ананьин [и др.] 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\12837  |t 9-я Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9, 23-25 апреля 1996 г.  |o сборник тезисов докладов  |f Томский политехнический университет ; Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9  |v С. 13-14  |d 1996  |p 437 с. 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
675 |a 539.2  |v 3 
675 |a 546(063)  |v 3 
701 1 |a Ананьин  |b П. С.  |c физик  |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1942-  |g Петр Семенович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\35527 
701 1 |a Асаинов  |b О. Х.  |c физик  |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1957-  |g Олег Хайдарович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25109 
701 1 |a Блейхер  |b Г. А.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1961-  |g Галина Алексеевна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948  |9 13681 
701 1 |a Ващенко  |b А. А. 
701 1 |a Золотарев  |b А. И. 
701 1 |a Зубарев  |b С. М. 
701 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
701 1 |a Кузьмин  |b О. С.  |c физик  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1961-  |g Олег Станиславович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33925 
701 1 |a Легостаев  |b В. Н.  |c российский физик  |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1947-  |g Виктор Никифорович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30671 
701 1 |a Носкова  |b Т. Г. 
701 1 |a Пащенко  |b О. В.  |c физик  |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1962-  |g Олег Валентинович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29784  |9 14261 
701 1 |a Смоленцев  |b В. К. 
701 1 |a Степанов  |b Б. П.  |c специалист в области атомной энергетики  |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1960-  |g Борис Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29389  |9 13970 
701 1 |a Ясин  |b С. Н. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20021021  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160525  |g PSBO 
942 |c BK