Магнетронные установки для ионно-плазменной обработки материалов

Bibliographic Details
Parent link:9-я Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9, 23-25 апреля 1996 г.: сборник тезисов докладов/ Томский политехнический университет ; Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9. С. 13-14.— , 1996
Other Authors: Ананьин П. С. Петр Семенович, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Ващенко А. А., Золотарев А. И., Зубарев С. М., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Легостаев В. Н. Виктор Никифорович, Носкова Т. Г., Пащенко О. В. Олег Валентинович, Смоленцев В. К., Степанов Б. П. Борис Павлович, Ясин С. Н.
Published: 1996
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=227656
Description
Description not available.