Магнетронные установки для ионно-плазменной обработки материалов

Bibliographic Details
Parent link:9-я Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9, 23-25 апреля 1996 г..— 1996.— С. 13-14
Other Authors: Ананьин П. С. Петр Семенович, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Ващенко А. А., Золотарев А. И., Зубарев С. М., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Легостаев В. Н. Виктор Никифорович, Носкова Т. Г., Пащенко О. В. Олег Валентинович, Смоленцев В. К., Степанов Б. П. Борис Павлович, Ясин С. Н.
Language:Russian
Published: 1996
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=227656
Description
Description not available.