Ананьин П. С. Петр Семенович, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Ващенко А. А., Золотарев А. И., Зубарев С. М., . . . Ясин С. Н. (1996). Магнетронные установки для ионно-плазменной обработки материалов; 9-я Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9, 23-25 апреля 1996 г. 1996.
Chicago Style (17th ed.) CitationАнаньин П. С. Петр Семенович, et al. Магнетронные установки для ионно-плазменной обработки материалов; 9-я Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9, 23-25 апреля 1996 г. 1996, 1996.
MLA (9th ed.) CitationАнаньин П. С. Петр Семенович, et al. Магнетронные установки для ионно-плазменной обработки материалов; 9-я Международная конференция по радиационной физике и химии неорганических материалов РФХ-9, 23-25 апреля 1996 г. 1996, 1996.