|
|
|
|
| LEADER |
00000nla2a2200000 4500 |
| 001 |
226945 |
| 005 |
20231031201246.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\247338
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\247239
|
| 090 |
|
|
|a 226945
|
| 100 |
|
|
|a 20121129d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование свойств плёнок диэлектриков нанометровой толщины
|b Электронный ресурс
|f И. В. Федин, Е. А. Ионов
|g Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) ; науч. рук. П. Е. Троян
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (723 Kb)
|
| 225 |
1 |
|
|a Секция 12: Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 723 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного листа
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 396 (7 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\240890
|t Современные техника и технологии
|o сборник трудов XVIII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 9-13 апреля 2012 г
|o в 3 т.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|d 2012
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\245545
|t Т. 3
|v [С. 395-396]
|d 2012
|p 447 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a нанометровый диапазон
|
| 610 |
1 |
|
|a толщина
|
| 700 |
|
1 |
|a Федин
|b И. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Ионов
|b Е. А.
|
| 702 |
|
1 |
|a Троян
|b П. Е.
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР)
|c (1997 - )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\422
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130925
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2012/C2/V3/v3_192.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
